第2882节（第144051-144100行） (2882/3051)

这绝对不是客套。

能在这个时间点拿到这样尺寸的样品，他已经非常满意了。

说话间，又挥了挥手，示意身后的助手何修军开工。

后者上前，打开保护盒的专用操作手套接口。

张汝宁亲自戴上特制的防护手套，双手探入盒内。

为了便于拿取和施加保护，镜片外面其实还套着一层硬壳。

但即便如此，仍然几乎没有什么实感。

解开夹具。

取出镜片。

缓缓安放到支架的二号位上。

“咔哒”一声轻响磁性夹具稳稳吸合。

归位。

最后，撤掉保护套。

“准备记录。”张汝宁的声音沉稳有力，打破了实验室的寂静。

“启动干涉仪，光源波长设定为486.1nm（F线，氢蓝光），作为基准参考波长。”

何修军迅速接管控制台。

激光器发出晶莹的蓝光，通过分束镜，形成两束相干光路。

一束穿过三透镜系统，另一束作为参考。

干涉仪的光学平台发出细微的调整声。

几秒钟后，何修军紧盯着高分辨率显示屏上实时生成的干涉图样，

报告道：

“张工，条纹已调至零位！基准波长下，系统波前像差极小，状态完美！”

“好。”张汝宁的语气几乎没有波动，“开始扫描！波长从486.1nm（氢蓝线F）开始，逐步向短波方向推进。”

“明白！”

何修军打开早就编写好的测试程序，让激光器自行调整输出博创。

显示屏上，代表两束光干涉迭加形成的明暗条纹图样，随着波长变化而微微变化。

所有人的心都提到了嗓子眼。

435.84nm……（汞蓝线g）

404.66nm……（汞紫线h）

365.01nm……（汞紫外线i）

波长越来越短，逐渐逼近深紫外（DUV）区域。

这是传统光学材料色散急剧增大、像差最难控制的波段。

然而，屏幕上的干涉条纹，虽然随着波长的变化出现了些许拨动，但呈现出来的变化幅度却几乎是肉眼不可见的水平。

如果使用传统光学器件，那或许只有蔡司出手，才能做到类似的程度。

而且肯定需要一个巨大且复杂的透镜系统。

绝非三块镜片就能解决。

“太稳了……”一位长光的光学工程师忍不住低声惊叹。

栗亚波对这个结果早有预估，但真到了亲眼所见的时候，还是忍不住挂上了一抹笑容——

如果这个成果顺利投入应用，那么就连自己的院士头衔，都可以提上议事日程了。

正常情况下，一门双院士这种事，一般都是老师在哪个院，学生就在哪个院。

但他的老师同时身兼双院院士。

哎呀，到时候该怎么选呢？

真是个令人感到痛苦的抉择呢……

……

就在栗亚波已经忍不住想入非非的时候，何修军带着激动的声音传来：

“数据出来了！”

他恨不得把头塞进屏幕里：

“相比基准波长，系统波前的RMS值（均方根值）上升了……不到0.15！”

实际应用中，DUV光源的宽度很窄，不可能囊括从486.1nm到193nm这么宽的范围。

因此这个数值换算到光刻机上面，就已经是非常优秀的结果了。