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第454章 流片前夜,暗箭再临 (1/3)
十二月三十一日,晚上十一点四十七分。
“华夏芯”一号洁净车间笼罩在一种压抑的兴奋中。空气里弥漫着硅片清洗剂的微酸气味、光刻胶的刺鼻甜香,还有设备长时间运转后散发出的淡淡机油味。十六台主要设备指示灯全亮,像一片悬浮在黑暗中的星辰。
温知秋站在中央控制台前,右手食指悬在红色的“流片启动”按钮上方三厘米处,已经维持这个姿势超过两分钟。
她的眼睛布满血丝,眼袋浮肿,无尘服领口处露出的脖颈皮肤透着不健康的灰白。这是连续七十二小时只睡了不到五小时的结果。控制台屏幕上,十二个监控窗口分别显示着刻蚀机腔体温度、光刻机对准精度、离子注入剂量、化学机械抛光压力……所有参数都在绿色安全区内跳动。
“温总?”旁边的工艺组长李工小声提醒,“温度梯度和气压稳定已经超过十五分钟,符合启动条件。”
温知秋的手指微微颤抖。
不是紧张,是纯粹的生理性颤抖——肌肉在过度疲劳后的自然反应。她知道,只要按下这个按钮,生产线就会开始首片“凤凰-mini”芯片的全流程制造。从硅片清洗到光刻、刻蚀、离子注入、金属互联、封装测试,整个流程需要三十八小时。三十八小时后,她就会知道这三个月来的挣扎、林峰押上的政治资本、国家大基金的五十亿、七〇三所张克艰团队的心血、许薇实验室的全新架构……这一切到底能不能结出一颗果实。
或者,只是一地碎片。
“再等三分钟。”她的声音沙哑得像砂纸摩擦金属,“让退火炉的温度再均匀一些。三维堆叠结构对热应力太敏感,温差超过零点五度就可能分层。”
李工看了眼监控数据:“当前腔体最大温差零点三度,已经连续八分钟稳定。”
“我要零点二度。”温知秋盯着屏幕,“张总工说过,我们这套自主工艺的容错率只有进口工艺的一半。别人能承受零点五度,我们只能承受零点二度。所以,等。”
控制室里安静下来,只有设备运行的低沉嗡鸣声。墙上的电子钟跳动着数字:23:48、23:49……
温知秋的目光扫过车间。透过观察窗,她能看见张克艰总工正戴着老花镜,弯腰检查那台“重生”后的刻蚀机。这位六十二岁的老人已经连续工作超过四十小时,但背脊依然挺直,动作精准得像钟表匠。不远处,两个七〇三所的技术员正蹲在化学气相沉积设备旁,用内窥镜检查反应腔内的涂层均匀度。
每个人都在极限边缘工作。
她想起三天前林峰来车间时说的话:“不要想两个月能不能出样片,就想今天要解决的问题。”现在,今天的问题只剩下最后一个——按下这个按钮的勇气。
电子钟跳向23:52。
温知秋闭上眼睛,深吸一口气。鼻腔里充满化学制剂的味道,但奇异的是,这味道让她感到一种病态的安心。这是她的战场,她的领域,她在这里挣扎了八年。
手指落下。
红色按钮被按下的瞬间发出轻微的“咔哒”声。控制台屏幕上,所有参数曲线同时开始波动,十二个监控窗口跳出“流程启动”的绿色提示。生产线像一头苏醒的巨兽,开始缓缓吞吐硅片——直径三百毫米的晶圆从传送臂送入清洗槽,高压水枪喷出超纯水,旋转的机械臂将硅片送入光刻机,紫外激光透过掩膜版在硅片上刻下比头发丝细千倍的电路图案……
“流程已启动。”李工汇报,“预计首片芯片将在三十八小时零七分钟后进入最终测试。”
温知秋点点头,腿一软,险些瘫倒。她赶紧扶住控制台,手指关节因为用力而泛白。
“温总,您必须休息了。”李工担忧地说,“后续流程有自动化系统监控,您在这里盯着也改变不了什么。”
“我知道。”温知秋松开手,慢慢直起身,“但我答应过林省长,流片全程我会在现场。”
她走到控制室角落的简易折叠床边——那是三天前搬进来的,上面扔着一件军大衣。她没躺下,只是坐在床沿,从口袋里摸出那枚“芯片书签”。书签在灯光下泛着冷硬的金属光泽,上面蚀刻的电路图案已经因为长期摩挲而有些模糊。
“芯片要成功,你也要平安。”林峰的话在脑海里回响。
平安。温知秋苦笑。这三个月来,她经历了设备被锁、技术团队被挖、生产线停摆、专利诉讼、资金链几度断裂……平安这个词,早就从她的字典里删除了。
控制室的门被轻轻推开。
温知秋以为是李工,没抬头。直到那双黑色皮鞋进入视线——不是技术人员穿的无尘鞋,是政府官员常穿的制式皮鞋,擦得很亮,但鞋跟边缘有细微的磨损痕迹。
她抬起头。
林峰站在门口,没穿无尘服,只是一身深灰色夹克,里面是浅蓝色衬衫,没打领带。他看起来也有些疲惫,眼角的细纹在灯光下很明显,但眼神依然沉稳锐利。
“林省长?”温知秋匆忙站起,手里还捏着那枚书签,“您怎么……”
“开完年终经济工作会议,顺路过来看看。”林峰走进控制室,目光扫过监控屏幕,“启动流程了?”
“二十三分钟前启动的。”温知秋汇报,“目前第一阶段清洗已完成,硅片已进入光刻机。所有参数正常。”
林峰点点头,走到观察窗前。透过双层玻璃,他能看见车间里忙碌的身影和缓缓流动的生产线。那些精密的机械臂、闪烁的指示灯、穿着白色无尘服的技术人员,构成一幅现代工业的图景。
“张总工还在现场?”他问。
“在检查刻蚀机。他说流片过程中这台设备最容易出问题,要全程盯着。”温知秋走到他身边,两人并肩站在窗前。她的身高只到他肩膀,从这个角度,能看见他下颌线绷紧的弧度。
“你三天没怎么休息了吧。”林峰说,没看她,依然看着车间。
“睡过几次,每次一两小时。”温知秋实话实说,“睡不着。一闭眼就是参数曲线、设备报警、良品率数字……”
“焦虑是正常的。”林峰转过身,看着她,“但你已经做到了极限。接下来,要相信你的团队,相信张总工,相信许教授的设计。”
温知秋想说“相信”这个词对她来说太奢侈了。这八年,她相信过进口设备供应商的承诺,相信过投资人的眼光,相信过某些领导的扶持,然后一次又一次被现实打脸。现在,她只相信数据、工艺参数、还有手里这枚书签代表的那个承诺。
但她没说出口,只是轻轻“嗯”了一声。
控制室里陷入短暂的沉默。只有设备运行的嗡鸣声和通风系统持续的低响。这种沉默并不尴尬,反而像某种默契——两个都背负着巨大压力的人,在深夜的车间里,共享片刻不需要言语的休憩。
林峰从夹克内袋里掏出一个小纸袋,递给她:“路过便利店买的。热的。”
温知秋接过,纸袋透出暖意。打开,里面是两个还烫手的烤红薯,皮已经烤得焦黄开裂,露出金黄色的瓤。
“您……”她抬头看他,一时不知该说什么。
“我当兵的时候,夜里站岗,炊事班的老班长总会留两个烤红薯在灶膛里。”林峰自己拿了一个,剥开皮,咬了一口,“那时候觉得,这是世上最好吃的东西。后来吃过山珍海味,还是觉得烤红薯最实在。”
温知秋学着他的样子,剥开红薯皮。热气腾起,带着糖分焦化的甜香。她咬了一小口,滚烫的、绵软的、甜丝丝的口感在口腔里化开。很奇怪,明明是很普通的食物,但这一刻,她觉得这比任何珍馐都美味。
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